產(chǎn)品型號：
更新時間：2025-12-15
廠商性質：經(jīng)銷商
訪 問 量 ：1482
15214375780
產(chǎn)品分類
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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61348-PEGH-0001
型號：61348-PEGH-0001
類型：高真空蝶形控制閥（Pneumatically Actuated）
制造商：VAT Group（瑞士）
系列：61系列（高性能蝶閥，適用于嚴苛環(huán)境）
真空范圍：
工作壓力：10?? mbar 至 大氣壓（超高真空兼容）
漏率：<1×10?? mbar·l/s（金屬密封版）
密封選項：
標準：氟橡膠（FKM，耐等離子體腐蝕）
可選：全金屬密封（無彈性體，適用于高溫/強腐蝕環(huán)境）
閥體材質：不銹鋼 316L（表面電解拋光，Ra ≤ 0.8 μm）
法蘭標準：ISO-KF、CF 或定制法蘭（SEMI標準兼容）
驅動方式：氣動執(zhí)行（單/雙作用可選）
響應時間：<100 ms（全開至全關）
標準溫度：-20°C 至 +150°C
高溫版本：可選 +250°C（需指定金屬密封）
烘烤兼容性：支持 ≤150°C 持續(xù)烘烤
刻蝕設備（Etch）：
用于 Cl?、HBr、SF? 等腐蝕性氣體隔離，耐等離子體侵蝕。
薄膜沉積（CVD/ALD/PVD）：
快速調(diào)節(jié)反應氣體流量，金屬密封版適用于WF?等高活性前驅體。
離子注入（Implant）：
超高真空隔離，確保束線潔凈度。
晶圓傳輸系統(tǒng)：
負載鎖（Loadlock）與傳輸腔室之間的快速壓力控制。
| 特性 | 61348-PEGH-0001 | VAT 47.1（直通閥） | VAT 54.1（角閥） |
|---|---|---|---|
| 閥體類型 | 蝶形閥（流量調(diào)節(jié)） | 直通閥（隔離） | 角閥（隔離） |
| 速度 | 超快（<100 ms） | 快（200 ms） | 中等（500 ms） |
| 密封選項 | FKM/金屬密封 | 彈性體密封 | 金屬密封 |
| 適用場景 | 動態(tài)氣體控制 | 真空隔離 | 高真空隔離 |
法蘭對齊：需使用無應力安裝工具，避免閥體變形影響密封。
氣源要求：驅動氣壓 4–6 bar（需潔凈干燥空氣或氮氣）。
測試：空載開閉循環(huán) ≥3 次，確認無卡滯。
常規(guī)檢查：
每3個月檢查密封面潔凈度（可用IPA擦拭）。
每6個月測試漏率（氦質譜檢漏儀）。
壽命指標：
彈性體密封：約50萬次循環(huán)。
金屬密封：>100萬次循環(huán)（需定期潤滑）。
問題：閥門響應慢
→ 檢查氣源壓力或執(zhí)行機構是否泄漏。
問題：真空漏率升高
→ 清潔密封面或更換密封圈（避免使用尖銳工具）。
定制選項：
可提供帶位置反饋（模擬量/數(shù)字信號）版本。
支持氟化涂層（如PTFE）以增強耐腐蝕性。
交期：
標準型號：8–12周（瑞士生產(chǎn)）；
緊急訂單：可聯(lián)系VAT亞洲倉庫（新加坡/上海）查詢庫存。
常供貨型號：
商品編號61340-PACE-0001
商品編號61348-PACN-0001
商品編號61338-PEAN-0001
商品編號61348-PAAF-0001
商品編號61346-PAGQ-0001
商品編號61346-PEGQ-0001
商品編號61348-PEAF-0001
商品編號61332-KEAF-0001
商品編號61338-PEAE-0001
商品編號61348-PECN-0001
商品編號61340-PECE-0001
商品編號61344-PAAX-0001
商品編號61344-PEAX-0001
商品編號61350-PAAK-0001
商品編號61338-PAAN-0001
瑞士VAT高真空蝶形控制閥61348-PEGH-0001
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