67.0 系列專為半導(dǎo)體生產(chǎn)中的腐蝕性蝕刻和清潔工藝而設(shè)計(jì)，可用作下游控制和隔離閥。

工藝室內(nèi)的氣流特性直接影響工藝速度和質(zhì)量。盡管傳統(tǒng)上，工藝設(shè)計(jì)最注重氣體流入，但下游氣流同樣有助于工藝優(yōu)化。

通常，晶圓周圍的氣流越均勻，晶圓上的氣體反應(yīng)就越平穩(wěn)、越同步。

這不僅適用于氣體引入階段，還適用于氣體從艙室排出階段。出口位置設(shè)計(jì)或閥門操作期間的流動路徑變化可能造成氣體分布不對稱，阻礙氣體排出或產(chǎn)生不均勻的流速。兩者都可能以不同的氣體暴露時(shí)間和不平衡對流的形式對晶圓造成負(fù)面影響。此外，兩者都可能導(dǎo)致工藝耗氣量增加、流程時(shí)間延長。

解決方案是對整個(gè)流程周期的氣流設(shè)計(jì)進(jìn)行優(yōu)化。67.0對稱控制閥為這種方法奠定了新基礎(chǔ)。

采用流量優(yōu)化設(shè)計(jì)，還能以全新方式設(shè)計(jì)工藝室。借助其特殊的打開和關(guān)閉機(jī)構(gòu)，氣流在整個(gè)開關(guān)周期中對稱分布，實(shí)現(xiàn)流量和壓力控制。“軟接觸"隔離功能強(qiáng)化了這一點(diǎn)。67.0 對稱控制閥移動平緩，可避免任何關(guān)閉沖擊，從而減少粒子生成量。

67.0 對稱控制閥的另一優(yōu)勢是占用空間小。相較于其他解決方案，所需的安裝空間更少。

67.0 對稱控制閥與氣流優(yōu)化的頂噴和艙室設(shè)計(jì)相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)了全新過程控制水平。這有助于提高產(chǎn)量質(zhì)量和縮短循環(huán)周期，從而提高生產(chǎn)率。

67.0 對稱控制閥可提供 DN 為 250-450 mm (10"–18") 的尺寸。閥體材料為鋁或硬質(zhì)陽極氧化鋁。泵側(cè)的標(biāo)準(zhǔn)法蘭為 ISO-F 或 JIS。艙室法蘭采用專有設(shè)計(jì)。法蘭、閥板和驅(qū)動器采用彈性體密封。饋通件采用波紋管密封。閥板加熱器為選件。

67.0 對稱控制閥由兩個(gè)帶有閉環(huán)控制步進(jìn)電機(jī)的同步線性驅(qū)動器驅(qū)動?，F(xiàn)代 32 位控制器可借助個(gè)人計(jì)算機(jī)或 PCU 通過各種標(biāo) 準(zhǔn)端口進(jìn)行連接。專用的控制性能分析儀 (CPA) 軟件能夠詳細(xì)監(jiān)測 67.0 對稱控制閥并調(diào)整周期性運(yùn)動。

67.0 對稱控制閥計(jì)劃在維護(hù)前，進(jìn)行200 萬次控制周期和 20 萬次隔離周期?？煽焖佥p松地完成更換密封件等維護(hù)要求。