瑞士VAT高真空蝶形控制閥61340-PACX-0001

1. 產(chǎn)品基礎(chǔ)信息

• 型號(hào)：61340-PACX-0001

• 類型：氣動(dòng)高真空蝶形控制閥（金屬密封，快響應(yīng)型）

• 品牌：VAT Group（瑞士，專精超高真空解決方案）

• 核心定位：面向半導(dǎo)體、光伏及科研領(lǐng)域的高動(dòng)態(tài)流量控制場(chǎng)景

2. 關(guān)鍵設(shè)計(jì)特性

① 閥體與密封系統(tǒng)

• 材質(zhì)組合：

• 閥體：316L不銹鋼（電解拋光，Ra ≤ 0.5 μm）

• 蝶板：鈦合金鍍Al?O?（抗等離子體腐蝕，適用于刻蝕/CVD工藝）

• 密封：全金屬密封（金包覆不銹鋼，漏率 <1×10?? mbar·l/s）

② 驅(qū)動(dòng)與控制

• 執(zhí)行機(jī)構(gòu)：

• 氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)（雙作用），響應(yīng)時(shí)間 <50 ms（一梯隊(duì)）

• 可選電動(dòng)執(zhí)行器（步進(jìn)電機(jī)，開(kāi)度控制精度 ±0.1%）

• 反饋系統(tǒng)：

• 標(biāo)配模擬量輸出（0-10V對(duì)應(yīng)0-100%開(kāi)度）

• 可選數(shù)字通信（PROFIBUS DP或DeviceNet）

③ 法蘭與連接

• 法蘭標(biāo)準(zhǔn)：

• ISO-KF（DN40至DN160）、CF（2.75"至8"）

• 支持SEMI標(biāo)準(zhǔn)定制（如NW法蘭）

• 接口選項(xiàng)：

• 氣路接口：1/4" NPT或Swagelok VCR

• 電氣接口：M12航空插頭（IP67防護(hù)）

3. 性能參數(shù)詳解

4. 半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用場(chǎng)景

① 刻蝕設(shè)備（Etch）

• 功能：腐蝕性氣體快速切斷（如Cl?/HBr等離子體環(huán)境）

• 定制需求：Al?O?鍍層蝶板 + 雙密封結(jié)構(gòu)（冗余設(shè)計(jì)）

② 原子層沉積（ALD）

• 優(yōu)勢(shì)：

• 超快響應(yīng)（<30 ms脈沖控制）匹配前驅(qū)體脈沖注入

• 漏率 <5×10?1? mbar·l/s 確保薄膜純度

③ 離子注入機(jī)

• 關(guān)鍵指標(biāo)：

• 無(wú)磁化設(shè)計(jì)（鈦合金材質(zhì)）避免束流干擾

• XHV級(jí)密封（烘烤后漏率維持10?1? mbar·l/s）

5. 選型對(duì)比（同系列型號(hào)）

6. 安裝與維護(hù)要點(diǎn)

① 安裝規(guī)范

• 扭矩控制：

• 法蘭螺栓扭矩 ≤15 Nm（ISO-KF）、≤25 Nm（CF）

• 對(duì)中要求：

• 軸向偏差 <0.1 mm，角度偏差 <0.5°

② 維護(hù)周期

• 預(yù)防性維護(hù)：

• 每50萬(wàn)次循環(huán)檢查密封面磨損（原廠提供磨損檢測(cè)工具包）

• 深度保養(yǎng)：

• 每2年更換驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)潤(rùn)滑脂（VAT專用真空潤(rùn)滑脂 P/N: LUB-VAC-002）

  瑞士VAT高真空蝶形控制閥61340-PACX-0001

常見(jiàn)問(wèn)題速查

Q：能否兼容EUV光刻機(jī)的真空環(huán)境？
→ 可以，但需選配特殊潔凈版（后綴加“-EUV"，顆粒釋放率降低50%）

Q：與MKS 649B的互換性？
→ 需驗(yàn)證法蘭接口和控制信號(hào)匹配，通常需轉(zhuǎn)接板（VAT提供適配方案）

Q：最小訂單量（MOQ）？
→ 原廠1臺(tái)起訂，批量（≥5臺(tái)）可享8%折扣

優(yōu)勢(shì)供應(yīng)：

商品編號(hào)61328-KAGH-0001

商品編號(hào)61328-KEGH-0001

商品編號(hào)61346-PEAH-0001

商品編號(hào)61332-KEAK-0001

商品編號(hào)61346-PACE-0001

商品編號(hào)61348-PEAX-0001

商品編號(hào)61328-KEGE-0001